KOKUSAI ELECTRIC集团的主要事业
KOKUSAI ELECTRIC集团由日本本社及6家集团公司构成，主要事业为半导体制造设备的开发、制造、销售、搬运和组装，及设备的维护、维修、零部件销售等服务。
成膜工艺设备
成膜工艺设备是用于在晶圆上形成电子电路的回路材料，例如多晶硅膜和绝缘膜等薄膜的设备。这个成膜工艺在晶圆上形成电路过程中起着重要的作用，因此每台设备都必须具备先进的技术和高可靠性的产品。我们的主力产品即批量成膜设备，因其优异的性能和可靠性，得到了全球半导体设备制造商的高度评价，并拥有世界顶级的市场份额。
兼具高难度成膜和高生产效率的批量ALD技术
随着半导体设备的三维化和精细化，近年来，其构造更深更窄，更加复杂，成膜所需要的表面积也在扩大，因此，需要高难度的高品质成膜。而我们的批量ALD技术能够解决这一难题。
批量ALD技术结合了能够将高品质膜台阶覆盖率优异且均匀成膜的ALD※技术与一次可成膜多片晶圆的批量成膜技术，是旨在兼顾高难度成膜和高生产效率的逻辑性解决方案。
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在本集团，将通过循环供应多种气体的工序，以原子层级别成膜的方法称为“ALD”。
膜质改善工艺设备
膜质改善工艺设备是通过在成膜后施加等离子体或热量，去除膜中的杂质并稳定粒子，从而改善膜质的技术。随着半导体设备的精细化与复杂化，低温环境下的成膜需求日益增加，膜质改善技术作为在低温环境下实现膜质改善的解决方案，其需求也在不断扩大。
去除膜中的不纯物，并排列形成薄膜的原子的技术
服务
本集团提供制造和销售的半导体制造设备的售后服务。
在半导体生产工厂，半导体制造设备全年无休地运行。因此，我们不仅提供高耐久性的产品，还提供产品的维护、修理、零部件销售以及设备的移机和改造等售后服务。此外，我们也进行二手设备的销售。为了让客户能够最高效、正确地使用本集团制造的半导体制造设备，我们还设立了培训中心，讲授设备的维护和操作方法。
